第一節(jié) 產(chǎn)品定義、性能及應(yīng)用特點
原子力顯微鏡是一種可用來 研究 包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的 分析 儀器。它通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來 研究 物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將一對微弱力極端敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運動狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時，利用傳感器檢測這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級分辨率獲得表面結(jié)構(gòu)信息。
它主要由帶針尖的微懸臂、微懸臂運動檢測裝置、監(jiān)控其運動的反饋回路、使樣品進行掃描的壓電陶瓷掃描器件、計算機控制的圖像采集、顯示及處理系統(tǒng)組成。微懸臂運動可用如隧道電流檢測等電學(xué)方法或光束偏轉(zhuǎn)法、干涉法等光學(xué)方法檢測，當(dāng)針尖與樣品充分接近相互之間存在短程相互斥力時，檢測該斥力可獲得表面原子級分辨圖像，一般情況下分辨率也在納米級水平。AFM測量對樣品無特殊要求，可測量固體表面、吸附體系等。
第二節(jié) 行業(yè) 發(fā)展歷程
納米技術(shù)是20世紀80年代發(fā)展起來的高新科技。各發(fā)達國家如美國、日本和西歐等都將納米技術(shù)作為21世紀新的產(chǎn)業(yè)革命的核心，我國也在科技發(fā)展戰(zhàn)略中將納米技術(shù)列為優(yōu)先發(fā)展的領(lǐng)域。以掃描隧道顯徽鏡(STM)與原子力顯微鏡(AFM)為代表的掃描探針顯微鏡(SPM)技術(shù)，是納米技術(shù)發(fā)展的重要基礎(chǔ)．而在SPM家族中，又以AFM的應(yīng)用領(lǐng)域更為廣泛，因為大多數(shù)納米材料均為非導(dǎo)體樣品。目前，國際上AFM儀器的應(yīng)用已較為普及。
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