第一節(jié) 產(chǎn)品技術發(fā)展現(xiàn)狀
國外目前在碳化硅超細粉體技術 研究 上已具備較高水平，正朝著大型化、高效、節(jié)能等方向發(fā)展，多種類型的粉碎和分級設備已大量投入使用，能夠生產(chǎn)多種粒徑、級別的超細產(chǎn)品，并能較好的保護晶體結構。
我國對碳化硅粉體深加工裝備的技術研制起步較晚，與國內(nèi)、國際市場的需求相差甚遠。由于一些低檔次的產(chǎn)品已逐漸失去市場，碳化硅超細粉的需求量也迅速擴大，對碳化硅超細粉制造工藝設備的要求也變的日益迫切了。經(jīng)過多年的 研究 及試驗，我國很多碳化硅廠制粉設備多次技術改造成功。目前在碳化硅的破碎、提純和二次分級中將機械粉碎工藝與氣流分級工藝二者有機結合，對碳化硅微粉進行有效的分級，產(chǎn)品分級細，種類多，產(chǎn)品質(zhì)量容易控制，產(chǎn)品可以根據(jù)需要用于各種用途；成品中顆粒形狀為片狀和針狀的產(chǎn)品可達到60％以上，其銳角鋒利，特別適用于硅晶圓的切割。
雖然在氣流粉碎機的使用過程中積累了不少實踐經(jīng)驗，并且通過不斷的技術改造，使工藝裝備和技術水平都有了相當程度的提高，但是目前我國所生產(chǎn)的碳化硅超細產(chǎn)品品種還較少，遠遠不能滿足超細粉體市場的飛速發(fā)展。
第二節(jié) 產(chǎn)品工藝特點或流程
1、工藝設備
機械粉碎方式是碳化硅超細粉制造的一種最常用的工藝方式。其粉碎設備可分為以下3類：
1）沖擊式磨機，包括高速機械沖擊式磨機、氣流粉碎機；
2）介質(zhì)運動磨，包括球磨機、振動磨、攪拌磨等；
3）膠體磨、雷蒙磨、高壓輥磨、離心磨等。
其中，氣流粉碎機、球磨機、振動磨以及雷蒙磨在實踐證明：雖然球磨機、振動磨、雷蒙磨在碳化硅粉砂生產(chǎn)中被廣泛采用，但是，由于碳化硅自身的磨料特性，使得這些磨機的易損件大量消耗的同時，產(chǎn)品中的鐵含量大幅度提高，以至于無法生產(chǎn)出具有相當檔次的產(chǎn)品。
而氣流粉碎機已經(jīng)成為一種較為成熟的超細粉碎技術。它是利用高速氣流（300-500m/s）的能量使顆粒相互沖擊、碰撞和摩擦，從而使顆粒粉碎。高速氣流是通過安裝在磨機周邊的噴嘴將高壓空氣噴出后迅速膨脹來產(chǎn)生的，由于噴嘴附近速度梯度很高，因此，絕大多數(shù)得粉碎作用發(fā)生在噴嘴附近，顆粒和顆粒之間的碰撞頻率遠遠高于顆粒與器壁之間的碰撞頻率。
因為氣流粉碎機的主要粉碎作用是顆粒之間的相互沖擊和碰撞，能在有效降低設備磨損的同時生產(chǎn)出高品質(zhì)的超細粉產(chǎn)品，所以其已經(jīng)成為最常用的超細粉碎設備之一產(chǎn)品細度一般可達1-5ρm，主要決定與氣流中的固體含量。其特點除產(chǎn)品細之外，還具有粒度分布狹窄，顆粒表面光滑，顆粒形狀規(guī)則，純度高，活性大分散性好等。
第三節(jié) 國內(nèi)外技術未來發(fā)展趨勢 分析
1、生產(chǎn)高度現(xiàn)代化
由于微電子工業(yè)對碳化硅超細粉體的純度、粒度和形狀的要求不斷提高，因此，對生產(chǎn)過程的無塵化及專用設備的開發(fā)尤其重要，同時必須通過在線監(jiān)測與控制，以確保最終產(chǎn)品的高質(zhì)量和高穩(wěn)定性。
2.技術創(chuàng)新力度加快
由于高技術碳化硅超細粉體材料的特殊性和品種的多樣性，所以僅僅對傳統(tǒng)工藝與裝備的改良是遠遠不夠的。隨著現(xiàn)代加工技術發(fā)展的日新月異，如處于科學前沿的等離子技術、射頻技術、超聲技術、真空技術以及光電技術等應盡快加以融納采用。
3、技術的自主創(chuàng)新
現(xiàn)代工業(yè)進入21世紀，隨著技術創(chuàng)新速度的加快，有部分產(chǎn)品的技術指標已達到其極限。規(guī)模化、低成本、高純度、多品種及功能化仍然是高技術碳化硅超細粉體的發(fā)展趨勢。除此之外，高技術碳化硅超細粉體的合成技術、智能化技術和微納米技術必將達到一個新的水平。所以，跨學科的創(chuàng)新力度必須不斷加大。
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