第一節(jié) 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八 研究 所

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八 研究 所成立于1964年，位于中國(guó)·湖南·長(zhǎng)沙，占地224畝。國(guó)家級(jí)微電子、太陽(yáng)能電池、光電材料、電力電子、磁性材料專(zhuān)用設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn)專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)。國(guó)內(nèi)主要半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)基地、最大的太陽(yáng)能電池制造和電子工業(yè)窯爐供應(yīng)基地、應(yīng)變式薄膜壓力傳感器國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程基地。擁有一流的設(shè)計(jì)及加工手段，為科技部授牌的全國(guó)CAD應(yīng)用工程示范單位。

48所技術(shù)力量雄厚，專(zhuān)業(yè)門(mén)類(lèi)齊全，擁有設(shè)計(jì)、制造、總裝、測(cè)試等系統(tǒng)平臺(tái)，是我國(guó)主要以集成電路、半導(dǎo)體照明、太陽(yáng)能光伏、磁性材料、新型儲(chǔ)能材料、特種傳感器和SOI材料等技術(shù)為主的骨干科研生產(chǎn)機(jī)構(gòu)，是我國(guó)唯一以離子注入機(jī)為主的微電子裝備供應(yīng)商、以MOCVD設(shè)備為主的光電子裝備供應(yīng)商，是我國(guó)最大的太陽(yáng)能光伏制造裝備供應(yīng)商、最大的磁性材料制造裝備供應(yīng)商。

48所太陽(yáng)電池制造裝備具備了“整線交鑰匙”工程的能力，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率達(dá)到80％以上，擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、PECVD等裝備批量供應(yīng)國(guó)際著名的無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司等；磁性材料制造裝備的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率也達(dá)70％以上，氮?dú)夥毡Ｗo(hù)推板窯批量供應(yīng)浙江橫店?yáng)|磁股份有限公司、浙江天通控股股份有限公司等上市企業(yè)。同時(shí)，48所利用自身的裝備和工藝優(yōu)勢(shì)，不斷開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的裝備上伸下延產(chǎn)品，成為了國(guó)內(nèi)最大的太陽(yáng)能光伏產(chǎn)品、高檔磁性材料、新型儲(chǔ)能材料、特種傳感器、SOI材料及高性能氮化釩添加劑的制造企業(yè)和國(guó)家科技部、北京市太陽(yáng)能光伏電池示范生產(chǎn)單位及湖南省太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)、磁性材料產(chǎn)業(yè)和新型儲(chǔ)能材料產(chǎn)業(yè)的牽頭單位。

48所現(xiàn)已具備年產(chǎn)各類(lèi)大型電子專(zhuān)用裝備3,000臺(tái)（套）、1,000MW完整太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)鏈、10,000噸高檔磁性材料、5,000噸完整新型儲(chǔ)能材料產(chǎn)業(yè)鏈、10,000支特種傳感器、50,000片SOI材料、5,000噸氮化釩添加劑的生產(chǎn)能力。48所已通過(guò)ISO9001、GJB9001、UL、CE、TüV、NRE等質(zhì)量管理體系認(rèn)證，是我國(guó)第一家通過(guò)ISO14001環(huán)境管理體系認(rèn)證和OHSAS18001職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證的電子專(zhuān)用裝備研制生產(chǎn)單位，是總裝備部“軍用電子元器件科研生產(chǎn)先進(jìn)單位”和《軍用電子裝備科研生產(chǎn)許可證》單位；48所電子專(zhuān)用裝備及環(huán)保節(jié)能產(chǎn)品的用戶(hù)覆蓋含香港、臺(tái)灣在內(nèi)的全國(guó)29個(gè)省市區(qū)及美國(guó)、德國(guó)、法國(guó)、西班牙、意大利、新加坡、韓國(guó)、伊朗、印度等國(guó)家。

數(shù)十年來(lái)，48所始終立足于 行業(yè) 科技發(fā)展的最前沿，努力提高自主創(chuàng)新能力，已在主要產(chǎn)品領(lǐng)域擁有一批自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù)。共取得重大科研成果380余項(xiàng)，其中填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白項(xiàng)目148項(xiàng)、達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平項(xiàng)目138項(xiàng)、列為國(guó)家替代進(jìn)口項(xiàng)目119項(xiàng)。獲得了包括國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)在內(nèi)的省、部級(jí)以上科研成果獎(jiǎng)勵(lì)232項(xiàng)及大量榮譽(yù)，擁有專(zhuān)利278項(xiàng)和軟件版權(quán)17項(xiàng)，制定 行業(yè) 標(biāo)準(zhǔn)18項(xiàng)。

為了尋求又好又快發(fā)展，48所將通過(guò)建立世界一流的極大規(guī)模集成電路成套裝備工程技術(shù) 研究 中心、有源層優(yōu)化生長(zhǎng)先進(jìn)技術(shù) 研究 應(yīng)用中心、太陽(yáng)能光伏電池技術(shù) 研究 應(yīng)用工程中心、新型儲(chǔ)能材料技術(shù)應(yīng)用工程中心、特種傳感器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，為相關(guān)產(chǎn)品提供持續(xù)技術(shù)支持和自主創(chuàng)新體系，確保48所在電子專(zhuān)用裝備及相關(guān)產(chǎn)品制造 行業(yè) 的龍頭地位。

國(guó)內(nèi)首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的、適用于0.25μm/6~8英寸晶圓片平坦化工藝要求的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，日前在中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48所研制成功。該設(shè)備的研制成功，填補(bǔ)了我國(guó)IC設(shè)備制造業(yè)0.25μm/6~8英寸晶圓片平坦化設(shè)備的空白，對(duì)于提升我國(guó)集成電路的整體研發(fā)水平和產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力有著十分重要的現(xiàn)實(shí)意義。

第二節(jié) 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五 研究 所

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五 研究 所，又稱(chēng)“北京半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備 研究 所”。是國(guó)內(nèi)從事電子專(zhuān)用設(shè)備技術(shù)、整機(jī)系統(tǒng)和應(yīng)用工藝 研究 開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)制造的專(zhuān)業(yè)化科研生產(chǎn)單位。

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五 研究 所擁有: 專(zhuān)業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)：技術(shù)人員786人，高級(jí)工程師132人，傳承50年半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，在微電子學(xué)、精密光學(xué)、計(jì)算機(jī)應(yīng)用、自動(dòng)控制、精密機(jī)械、液壓、氣動(dòng)及系統(tǒng)工程等諸多技術(shù)應(yīng)用方面居國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位。

領(lǐng)先的核心技術(shù)：5個(gè)共性技術(shù)及工藝 研究 室，強(qiáng)化對(duì)使用工藝的 研究 與應(yīng)用， 可為客戶(hù)提供全套解決方案，保證產(chǎn)品的先進(jìn)性與可靠性、一流的硬件環(huán)境：擁有現(xiàn)代化研發(fā)中心、凈化廠房、裝配線和精密零部件制造中心、完善的質(zhì)量管理體系：通過(guò)GB/T19001-2000質(zhì)量體系認(rèn)證并保持良好運(yùn)行?，F(xiàn)已形成以IC關(guān)鍵工藝設(shè)備“光刻機(jī)”為龍頭，晶圓加工設(shè)備、芯片封裝設(shè)備及電子元件設(shè)備等門(mén)類(lèi)齊全，系列配套的產(chǎn)品。由我所研制的材料加工、光刻、清洗、中測(cè)、劃片、鍵合設(shè)備在國(guó)內(nèi)處于技術(shù)領(lǐng)先地位并已具備規(guī)模生產(chǎn)能力。

四十五所設(shè)備產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路、分立器件、太陽(yáng)能電池和液晶器件等生產(chǎn)領(lǐng)域，涵蓋材料加工、圖形制作、檢測(cè)和封裝等關(guān)鍵生產(chǎn)環(huán)節(jié)。三十多年來(lái)，共獲得科研成果400多項(xiàng)，獲國(guó)家及省部級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)100多項(xiàng)，60多種設(shè)備產(chǎn)品被列為國(guó)家替代進(jìn)口產(chǎn)品目錄，20多項(xiàng)被列為國(guó)家級(jí)新產(chǎn)品，在國(guó)內(nèi)科研院所、高校、企業(yè)廣泛應(yīng)用。

四十五所擁有以機(jī)、電、光、計(jì)算機(jī)應(yīng)用專(zhuān)業(yè)為主的專(zhuān)家隊(duì)伍和以機(jī)械加工、電氣裝配、光學(xué)加工為主的技能人才隊(duì)伍，在電子專(zhuān)用設(shè)備的研發(fā)制造上積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，形成了以精密工作臺(tái)系統(tǒng)、機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、精密機(jī)械、物料傳輸系統(tǒng)和系統(tǒng)集成等六大技術(shù)構(gòu)成的核心技術(shù)系統(tǒng)，承擔(dān)著多項(xiàng)國(guó)家軍民重大科研項(xiàng)目。在北京、上海、燕郊共擁有5個(gè)控股公司。

國(guó)內(nèi)首臺(tái)十二英寸硅片化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)β機(jī)樣機(jī)研制成功，具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的十二英寸硅片拋光機(jī)β機(jī)樣機(jī)在中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五 研究 所研發(fā)成功。硅片化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是集成電路等電子元器件生產(chǎn)進(jìn)入納米級(jí)工藝后的一項(xiàng)關(guān)鍵設(shè)備，在技術(shù)難度和重要性上僅次于光刻機(jī)，當(dāng)今世界只有美、日兩國(guó)才能生產(chǎn)。“十二英寸硅片化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（CMP）β機(jī)研發(fā)”項(xiàng)目是“十一五”國(guó)家科技部重點(diǎn)支持項(xiàng)目，通過(guò)項(xiàng)目實(shí)施，該所創(chuàng)造出了20項(xiàng)專(zhuān)利（其中國(guó)內(nèi)發(fā)明專(zhuān)利11項(xiàng)，國(guó)際發(fā)明專(zhuān)利3項(xiàng)）。

第三節(jié) 市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng) 分析 （波特五力模型）

一、供應(yīng)商的議價(jià)能力

目前國(guó)內(nèi)對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的 研究 主要是通過(guò)借鑒國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品，設(shè)備的組件主要依賴(lài)進(jìn)口，國(guó)內(nèi)45所和48所雖然已經(jīng)研制成功，但在產(chǎn)品的穩(wěn)定性方面還需開(kāi)發(fā)。

二、購(gòu)買(mǎi)者的議價(jià)能力

中國(guó)正在成為消費(fèi)電子產(chǎn)品全球最大的制造基地，半導(dǎo)體企業(yè)眾多，但拋光設(shè)備完全依賴(lài)進(jìn)口，由于受制于人，半導(dǎo)體企業(yè)完全不具備議價(jià)能力。

三、新進(jìn)入者的威脅

全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向亞太地區(qū)轉(zhuǎn)移趨勢(shì)明顯。我國(guó)內(nèi)地半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展滯后于先進(jìn)國(guó)家，內(nèi)地企業(yè)多位于全球產(chǎn)業(yè)鏈的中下游環(huán)節(jié)。我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成為全球產(chǎn)業(yè)鏈的組成部分，產(chǎn)量和產(chǎn)值提高迅速，但是產(chǎn)品技術(shù)含量和附加值偏低。

對(duì)于化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的技術(shù)要求過(guò)高，而國(guó)外的一些生產(chǎn)廠家已經(jīng)充實(shí)了整個(gè)市場(chǎng)的需求，國(guó)內(nèi)的生產(chǎn)廠家又少之又少，所以在新進(jìn)入者的威脅也就相對(duì)的較小。

四、替代品的威脅

化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)作為目前唯一的可以提供在整個(gè)圓硅晶片上全面平坦化的工藝技術(shù),已被越來(lái)越廣泛地應(yīng)用到了半導(dǎo)體領(lǐng)域，化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備產(chǎn)品是目前半導(dǎo)體拋光的最主要設(shè)備，其在半導(dǎo)體拋光市場(chǎng)的地位日漸重視，來(lái)自替代品的威脅較小，但目前拋光液的污染問(wèn)題已經(jīng)引起重視，替代品的威脅主要體現(xiàn)在技術(shù)的創(chuàng)新上。

五、現(xiàn)有競(jìng)爭(zhēng)者之間的競(jìng)爭(zhēng)

目前，對(duì)應(yīng)于90-65nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)CMP工藝研發(fā)的CMP設(shè)備，主要有3種基本類(lèi)型，一種是以應(yīng)用材料、日本荏原制作所為代表的旋轉(zhuǎn)型研磨技術(shù)的CMP裝置，第二種則是以Lam Research公司的皮帶平移式直線型CMP裝置，第三種則是以Novellus公司為代表的軌道式CMP，目前各企業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)比較緩和。

第四節(jié) 綜合結(jié)論

作為芯片制造不可或缺的一環(huán)，CMP工藝在設(shè)備和材料領(lǐng)域歷來(lái)是“兵家必爭(zhēng)之地”。目前雖然國(guó)內(nèi)尚未參與到競(jìng)爭(zhēng)中，但市場(chǎng)產(chǎn)生的巨大需求，吸引著企業(yè)的加入，由于技術(shù)限制，導(dǎo)致這一產(chǎn)業(yè)的發(fā)展仍然處于國(guó)外壟斷狀態(tài)。



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