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硅酸鎵鑭晶體技術(shù)工藝發(fā)展趨勢分析(立項(xiàng)報告)

網(wǎng)址:www.ablewa.com 來源:資金申請報告范文發(fā)布時間:2018-09-19 15:59:40

第一節(jié) 產(chǎn)品技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

世界上很多國家的大學(xué)、 研究 所和國際知名企業(yè)(如三菱公司、三洋公司和富士通公司等)先后開展了LGS晶體的生長、性能及應(yīng)用 研究 ,多家公司報道已經(jīng)有直徑760mm(3inches)的產(chǎn)品。我國山東大學(xué)晶體材料 研究 所也正從事這類材料的生長和性能 研究 ,并在國內(nèi)處于領(lǐng)先水平。但是,昂貴的Ga2O3原料成為制約LGS晶體工業(yè)化應(yīng)用的“瓶頸”。降低晶體成本的主要途徑有:

1、用其他元素替換LGS分子中的Ga

2、改進(jìn)現(xiàn)有生長工藝或?qū)ふ移渌行У纳L方法

由于LGS晶體提拉法生長工藝已經(jīng)比較成熟,而離子置換的空間比較大,所以人們把新壓電晶體工業(yè)應(yīng)用的希望寄托在異質(zhì)同構(gòu)的低成本壓電晶體上,并證明這種努力是有效的。

 

第二節(jié) 產(chǎn)品工藝特點(diǎn)或流程

LGS晶體在1470℃一致熔融,在生長溫度至室溫沒有相變點(diǎn)。與α-石英和磷酸鋁相比,LGS晶體在生長特性方面具有一定優(yōu)勢,可以采用提拉法在較短的周期內(nèi)生長大尺寸適于壓電應(yīng)用的單晶。

晶體生長采用射頻加熱提拉爐,借助于提拉法進(jìn)行。所用的坩堝材料可為鉑,也可為銥。采用銥坩堝時,要注意用惰性氣體保護(hù)。由于N2可能與Ga生成氮化鎵,最好采用Ar氣作為保護(hù)氣體。采用鉑坩堝時,可以調(diào)節(jié)生長爐內(nèi)O2的含量,來控制晶體的顏色和質(zhì)量。盡管鉑坩堝不需要保護(hù)氣氛,但是實(shí)驗(yàn)表明,在高溫下LGS熔體和氧氣共同作用會使Pt溶于熔體而在LGS晶體中產(chǎn)生Pt包裹體,故通常采用Ar+(1%~2%)O2混合氣體,也有N2+3%O2混合氣體作保護(hù)氣氛的。

關(guān)于LGS晶體生長的參數(shù)大同小異。一般而言,采用較大的溫度梯度,一般不使用后熱器,提拉速度一般在1.0~2.0mm/h之間,轉(zhuǎn)速約為10r/min,前期 研究 工作中有報道采用更高轉(zhuǎn)速的。所用籽晶一般都是Z方向,籽晶方向的準(zhǔn)確定向?qū)ιL晶體質(zhì)量有較大影響。平放肩的晶體較易開裂。晶體等徑控制不好,易引入缺陷乃至開裂。為了提高晶體利用率,也有采用a方向籽晶生長晶體的,還有采用(1120)方向籽晶生長LGS晶體的,生長難度較Z方向大。

 

第三節(jié) 國內(nèi)外技術(shù)未來發(fā)展趨勢 分析

LGS單晶為一種性能優(yōu)良的壓電晶體。近來,由于光通信及相關(guān) 行業(yè) 的發(fā)展,對于這一晶體的 研究 又成為新的熱點(diǎn)。當(dāng)前的 研究 工作,大致集中在幾個方面。

首先仍是關(guān)于LGS晶體的生長和加工,包括對于實(shí)際應(yīng)用有影響的加工質(zhì)量的 研究 等;

第二方面為LGS晶體的測試及各種切型和各種可能器件應(yīng)用的 研究 ;

第三方面是有一批 研究 者嘗試采用元素取代或添加的方法生長LGS的同構(gòu)晶體,如用Ca、Sr和其它稀土元素取代La,以Al、Nb、Ta或Ge來取代Ga和Si,甚至將La、Ga和Si全面取代,而制備LGS晶體的同構(gòu)體Na2CaGe6O14(NCG),并對其壓電性和其它性能進(jìn)行測試。

近年,作為壓電材料的LGS晶體的 研究 也著眼于生長大尺寸適于壓電應(yīng)用的單晶及擴(kuò)展晶體方面。




免責(zé)申明:本文僅為中經(jīng)縱橫 市場 研究 觀點(diǎn),不代表其他任何投資依據(jù)或執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)等相關(guān)行為。如有其他問題,敬請來電垂詢:4008099707。特此說明。
 

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