第一節(jié) 中國離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境（PEST）

一、經(jīng)濟(jì)環(huán)境 分析

2005-2010年我國GDP增長變化情況   單位：億元，%

二、政策、法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)

1、政策

在中國經(jīng)濟(jì)率先復(fù)蘇的背景下，宏觀調(diào)控政策備受各界關(guān)注。中央經(jīng)濟(jì)工作會議明確提出，2010年要保持宏觀經(jīng)濟(jì)政策的連續(xù)性和穩(wěn)定性，繼續(xù)實(shí)施積極的財(cái)政政策和適度寬松的貨幣政策，同時(shí)根據(jù)新形勢新情況著力提高政策的針對性和靈活性。盡管措辭基調(diào)未變，但政策的內(nèi)涵和實(shí)施的重點(diǎn)或?qū)l(fā)生微妙變化，“針對性和靈活性”將可能成為未來政策調(diào)控的關(guān)鍵詞。

一個寬松的政策環(huán)境對薄膜壓力傳感器的創(chuàng)新和市場拓展都有一定的積極促進(jìn)作用。另外，“積極的財(cái)政政策”對我國薄膜壓力傳感器 行業(yè) 的出口貿(mào)易也有益處。

2、部分相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

壓力傳感器相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)列表

三、社會環(huán)境

社會環(huán)境是指組織所在社會中成員的民族特征、文化傳統(tǒng)、價(jià)值觀念、宗教信仰、教育水平以及風(fēng)俗習(xí)慣等因素。構(gòu)成社會環(huán)境的要素包括人口規(guī)模、年齡結(jié)構(gòu)、種族結(jié)構(gòu)、收入分布、消費(fèi)結(jié)構(gòu)和水平、人口流動性等。其中人口規(guī)模直接影響著一個國家或地區(qū)市場的容量，年齡結(jié)構(gòu)則決定消費(fèi)品的種類及推廣方式。

目前，我國比較突出的社會問題有就業(yè)形勢和過大的收入差距上。

從就業(yè)方面來看，我國經(jīng)濟(jì)增長對就業(yè)的拉動作用逐年減弱。GDP增長的就業(yè)彈性從1980年～1989年期間的0.323降低到2004年0.1左右。我國目前的經(jīng)濟(jì)增長是“非就業(yè)的經(jīng)濟(jì)增長”。而由于勞動適齡人口的大量增加（20世紀(jì)70年代、80年代生育高峰時(shí)期出生的人，目前正好進(jìn)入就業(yè)年齡），以及城市化帶來的大量農(nóng)業(yè)居民轉(zhuǎn)化為城市居民和國有、集體企業(yè)大量富余人員下崗。

另外，受到金融危機(jī)的影響，就業(yè)形勢更加嚴(yán)峻。2009年中國的就業(yè)形勢將比往年要嚴(yán)峻得多。隨著全球金融危機(jī)的愈演愈烈，不少企業(yè)的招聘計(jì)劃被凍結(jié)或縮水，對原本就面臨巨大就業(yè)壓力的大學(xué)生無疑是雪上加霜。

從我國的實(shí)踐來看，隨著我國工業(yè)化水平的逐步提高，從上個世紀(jì)90年代以來，我國的收入差距（包括城鄉(xiāng)收入差距、地區(qū)收入差距和個人收入差距）呈現(xiàn)出不斷擴(kuò)大的趨勢。2009年我國城鄉(xiāng)居民收入比已經(jīng)達(dá)到3.33∶1，再考慮城市居民還享有公費(fèi)醫(yī)療、失業(yè)保險(xiǎn)、住房補(bǔ)貼、養(yǎng)老金等社會保障方面的非貨幣收入因素，中國的城鄉(xiāng)收入差距可能高達(dá)5倍～6倍，是世界最高的。雖然國家從20世紀(jì)90年代末開始采取或強(qiáng)化了一些措施（如減輕農(nóng)民負(fù)擔(dān)、逐步取消農(nóng)業(yè)稅、實(shí)施西部大開發(fā)戰(zhàn)略、加強(qiáng)收入調(diào)節(jié)等）抑制收入差距擴(kuò)大，但成效并不顯著，收入差距已經(jīng)成為影響我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要因素。

據(jù) 分析 ，在目前我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展階段和經(jīng)濟(jì)條件下，如果不采取有效措施，“十二五”期間我國的城鄉(xiāng)收入差距和地區(qū)收入差距繼續(xù)擴(kuò)大的趨勢將難以避免，這將對我國的經(jīng)濟(jì)發(fā)展和社會穩(wěn)定產(chǎn)生非常不利的影響。

四、技術(shù)環(huán)境

我國良好的政策環(huán)境和相對平穩(wěn)的宏觀經(jīng)濟(jì)形勢為薄膜壓力傳感器技術(shù)創(chuàng)新和推廣應(yīng)用提供了優(yōu)越的市場機(jī)會和發(fā)展空間。壓力傳感器技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到比較高的水平，并且更新?lián)Q代的速度很快。雖然我國薄膜壓力傳感器生產(chǎn)技術(shù)水平與發(fā)達(dá)國家還有加大的差距，但隨著我國經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和社會的進(jìn)步，以及電子工業(yè)的快速發(fā)展，國內(nèi)眾多企業(yè)實(shí)現(xiàn)工藝技術(shù)升級的需求進(jìn)一步增強(qiáng)，我國的離子束濺射薄膜壓力傳感器將在技術(shù)、材料、工藝上都有改進(jìn)和提高的空間。

第二節(jié) 離子束濺射薄膜壓力傳感器生產(chǎn)工藝 分析

濺射薄膜壓力敏感元件一般有兩種形式，一種是直接在絕緣基底(如藍(lán)寶石基底)上，先制作金屬薄膜，再用光化學(xué)等方法生成應(yīng)變圖形和電極，從而制做成薄膜壓力敏感元件；另一種是在金屬彈性體上先制作一層絕緣介質(zhì)層，再在其上制作金屬薄膜，然后通過光刻、刻蝕的一系列的工藝形成應(yīng)變圖形和電極，一般制作好的敏感元件表面還需覆蓋一層保護(hù)層。

濺射薄膜壓力傳感器的主要制作工藝包括膜片的研磨拋光、清洗、成膜、制作光化學(xué)圖形和表面保護(hù)等。

1、膜片的研磨拋光

金屬膜片的表面研磨和拋光是制造濺射薄膜敏感元件關(guān)鍵工藝，膜片表面研磨、拋光質(zhì)量的好壞將直接影響到后續(xù)工序質(zhì)量，因此膜片經(jīng)研磨、拋光后其表面質(zhì)量必須達(dá)到以下要求：表面粗糙度Ra≤0.1μm；平面度≤1.2pm，且表面不能有劃痕、桔皮等缺陷。

研磨一般需有粗磨、細(xì)磨，細(xì)磨后的表面不能有劃痕。拋光工藝采用瀝青膠版拋光工藝，瀝青膠版拋光法拋光后的膜片表面效果較好，用瀝青膠版拋光制作的敏感元件的溫度性能、絕緣強(qiáng)度、產(chǎn)品成品率較好。

2、膜片的清洗工藝

膜片在成膜前要經(jīng)過化學(xué)試劑超聲波清洗和離子轟擊清洗兩道工藝?；瘜W(xué)試劑超聲波清洗可以去除膜片表面的油脂、微塵等污染物，離子轟擊可以去除膜片表面吸附的水汽、空氣的微觀污染。潔凈的膜片表面可以獲得到良好的薄膜結(jié)合力，膜片表面清洗不干凈會導(dǎo)致膜層的結(jié)合力下降，嚴(yán)重時(shí)還會導(dǎo)致膜層脫落。

3、薄膜沉積

制備薄膜的方法很多，在薄膜壓力敏感元件制作過程采用的方法大致有真空蒸發(fā)成膜和濺射成膜兩種，而濺射成膜又可分直流濺射、射頻(RF)濺射、離子束濺射(IBS)等幾種。真空蒸發(fā)成膜結(jié)合力差，且工藝重復(fù)性不好，所以現(xiàn)在在薄膜壓力敏感元件的制作工藝中已經(jīng)很少有人采用。直流濺射成膜也因?yàn)椴荒艹练e介質(zhì)膜而不被采用。目前，在制造工藝廣泛使用的方法基本上是射頻濺射成膜和離子束濺射成膜兩種。

4、制作電極圖形

電引線圖形的材料使用一般使用高純Au制作電極圖形，一般是先用光刻的方法在金層上形成掩模，然后用水基12、KI腐蝕液化學(xué)腐蝕出圖形。該腐蝕液在濃度、腐蝕溫度和攪拌速度合理時(shí)，對膜片材料、電阻材料基本上不腐蝕，可以很好地控制腐蝕終點(diǎn)。

5、制作應(yīng)變電路圖形

制作應(yīng)變電路圖形一般是先用光刻的方法在膜層上形成掩模，然后進(jìn)行化學(xué)腐蝕或干法刻蝕的方法進(jìn)行圖形加工?；瘜W(xué)腐蝕一般得到的圖形線條邊緣不整齊，而且有側(cè)向腐蝕現(xiàn)象。干法刻蝕圖形線條邊緣比較整齊，而且無側(cè)向腐蝕，所以一般都采用離子束干法刻蝕工藝。

6、敏感元件表面保護(hù)

在制作好應(yīng)變圖形的敏感元件表面，沉積一層介質(zhì)膜層，可以提高敏感元件的抗?jié)裥阅?，防止?yīng)變電阻層在長期使用過程被氧化和污染，有利于保證敏感元件的長期穩(wěn)定性和可靠性。保護(hù)層和絕緣介質(zhì)層一般采用同種材料，目前大部分薄膜壓力敏感元件生產(chǎn)廠家使用的材料為Si02。

第三節(jié) 離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展特征

一、周期性特征

目前市場上常見的壓力傳感器有擴(kuò)散硅式、差壓電容式、陶瓷壓阻式、金屬應(yīng)變片粘貼式等多個品種。濺射薄膜式壓力傳感器是近幾年來剛剛邁入市場的后起之秀，離子束濺射薄膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)處于成長期。

二、區(qū)域性分布

敏感元件與傳感器的研制、生產(chǎn)集中在東部沿海地區(qū)，產(chǎn)量較大的企業(yè)包括歐姆龍（上海）有限公司、愛科電子（珠海保稅區(qū)）有限公司、杭州大和熱磁電子有限公司、精量電子（深圳）有限公司等，而其它95%以上屬小型企業(yè)，綜合實(shí)力較強(qiáng)的骨干企業(yè)較少。目前能批量生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏和濕敏7大類，約3,000多個品種，年銷售量較高的企業(yè)集中在北京、上海、江蘇、陜西、廣東、浙江等省市。

三、產(chǎn)業(yè)鏈 研究

免責(zé)申明：本文僅為中經(jīng)縱橫 市場 研究 觀點(diǎn)，不代表其他任何投資依據(jù)或執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)等相關(guān)行為。如有其他問題，敬請來電垂詢：4008099707。特此說明。