“年產(chǎn)200萬(wàn)片平面光波導(dǎo)分路器（PLC）芯片產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目完成驗(yàn)收
近日，由國(guó)家發(fā)展改革委支持建設(shè)的“年產(chǎn)200萬(wàn)片平面光波導(dǎo)分路器（PLC）芯片產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目完成驗(yàn)收。該項(xiàng)目由河南仕佳光子科技有限公司承擔(dān)建設(shè)，項(xiàng)目新建了生產(chǎn)廠房和研發(fā)樓，引進(jìn)了國(guó)際先進(jìn)的PECVD設(shè)備、APS刻蝕設(shè)備、光刻機(jī)、勻膠機(jī)、去膠機(jī)等儀器設(shè)備，建成了PLC光分路由芯片生產(chǎn)線(xiàn)，形成了年產(chǎn)225萬(wàn)片的生產(chǎn)能力。